ºê´ïµç×ÓÉϰëÄêÓªÊÕ¾»Àû˫λÊýÔöÌí Ä£¿éÓªÒµ³ÉΪÐÂÔöµã Å·¹É´ó²¿¸ß¿ª Å·ÖÞ˹ÍпËÖ¸Êý¿ªÅÌÉÏÕÇ0.22% A¹ÉβÅÌÌøË®£¬Èý´ó¹ÉÖ¸Õǵø»¥ÏÖ£ºÏûºÄµç×Ó×ßÇ¿£¬Á½Êгɽ»ËõÖÁ2.68ÍòÒÚÔª ³þÌì¸ßËÙ£ºÉϰëÄê¹éĸ¾»ÀûÈó4.03ÒÚÔª£¬Í¬±ÈϽµ9.03% ÓªÊÕ5438ÒÚÔª£¬Í¨Ñ¶¾ÞÍ·°ëÄ걨³ö¯£¡ÕâÒ»ÁìÓòÓ­ÖØ´óÀûºÃ£¬×ʽðβÅÌÇÀ³ï¶à¹É ×ôµ¤Å«¹ú¼ÊÐû²¼ÖÐÆÚÒµ¼¨ ¹É¶«Ó¦Õ¼ÒçÀû1.21ÒÚ¸ÛԪͬ±ÈÔöÌí0.83% Èü΢µç×Ó£º¿Ø¹É×Ó¹«Ë¾MEMS¹è¾§Õñͨ¹ýÑéÖ¤²¢Æô¶¯ÊÔ²ú ½×Ô¾Ðdz½µõÏúÊÓÆµÌìÉúÍŶÓ£¬È«Ô±²¢È뾩¶«£¿ºóÕß»ØÓ¦ A¹ÉÈý´ó¹ÉÖ¸ÔÙ´´ÄêÄÚиߣ¬°ëµ¼Ì幤ҵÁ´È«Ïß×ßÇ¿ ³Ö¹É½ö²î116Íò¹ÉÖ±±ÆÉç±£»ù½ð£¡ÖйúÈ˱£ÉñÃØÐ¡ÎÒ˽¼Ò¹É¶«¿×·ïÈ«Ëø²Ö½üÈýÄê