·¿µØ²ú°å¿é×ßÇ¿ £¬Ê׿ª¹É·Ý5Á¬°å ¹â´óÆÚ»õ£º8ÔÂ4ÈÕÓÐÉ«½ðÊôÈÕ±¨ Áú»¢°ñ | ÉñÖÝϸ°û½ñÈÕ¡°20cm¡±ÕÇÍ£ £¬3¼Ò»ú¹¹×¨ÓÃϯλ¾»ÂòÈë1.19ÒÚÔª ʹشæÁ¿·¿ÉúÒ⣡ÇൺÐû²¼×îÐÂ֪ͨ¡ú º«Ã½£ºÔÚÃÀ±»¾ÐÁôµÄº«¹ú¹¤È˽«ÓÚ9ÔÂ10Èջعú ½è¿ÇÉÏÊУ¿ÖйúMEMS´«¸ÐÆ÷ÁìÏÈÕßÎùƼ¼ÊÕ¹ºÉÏÊй«Ë¾°²³µ¼ì²âµÄ¹ÉȨ °ÍµÂŵºÕÔÊÐí×î´óÏÞ¶È¿ª²É±±º£ÓÍÆø×ÊÔ´ ¿ìѶ£ººãÖ¸µÍ¿ª0.77% ¿ÆÖ¸µø1.2% ¿ÆÍø¹ÉÆÕµø ÒøÅµÒ½Ò©ÉÏÊÐÊ×Èո߿ªÓâ285% ¹ãÎ÷ÐÂÄÜÔ´Æû³µ¹¤½³ Á½ÄêÆÚÃÀÕ®ÊÕÒæÂÊÆÈ½ü5ÔÂÒÔÀ´µÍµã ÉúÒâÔ±ÉîÐÅÃÀÁª´¢ÏÂÔ½«½µÏ¢